JCMsuite的應用領域
35Yf,@VO Cyos* 現(xiàn)代
納米光學系統(tǒng)的復雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴格的仿真可以讓設計者深刻理解相關現(xiàn)象,了解更多不同領域帶來的挑戰(zhàn)。
XEnu0gr a%A!DzS 計算光刻
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,bQ;p3g| !E_Zh*lgm JCMsuite提供了完整的光學仿真鏈:對復雜
照明的描述,通過光學
成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計算,直至在光刻膠中形成圖像。
z %Bzf~N9 =ecLzk"+F 計算計量學
-V4%f{9T3 o@BV&| X$;&Mdo. kU+|QBA@ 周期大于照明波長一半的結構的光學計量已成為標準計量技術。 但是,快速嚴格的仿真技術以及設計好的測量裝備允許在深亞波長范圍內使用光學計量方法。
gW,hI> _1NK9dp: 波導和
光纖 LFI#wGhXVk *f3S