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    [技術]檢查微型晶片的光學系統(tǒng) [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-12-15
    任務/系統(tǒng)說明  $AZ=;iP-  
    c|'$3dB*  
    rT-.'aQ2t  
    9 M?UPE  
    亮點 ~[aV\r?  
    x~m$(LT  
     jL)Y'  
    ut]&3f''  
     在復雜光學系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數值孔徑(NA)） f;+.j/ +  
     嚴格分析光柵衍射效率 uARkf'  
     考慮入射光的方向分布 v9TIEmZ  
    Dbx zqd  
    說明：光源 \Lb