案例315（3.1） lg-_[!4Z n<8WjrK 該應(yīng)用案例說明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長(zhǎng)線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長(zhǎng)和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 9lYfII}4(
N E9,kWI 1. 線柵偏振片的原理 qBBC nT E42)93~C 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 C` ;igg$t_
2. 建模任務(wù) HfSx*@\s
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全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 Uyb0iQ-,s
偏振元件的重要特性： `qs,V
偏振對(duì)比度 SDC|>e9i
透射率 c4 6-8z$
效率一致性 3Sfd|0^
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬)
