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    [技術(shù)]柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-25
    該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外，對圓柱直徑與高度的影響進行了分析。 m]7yc>uDy  
     n2(~r 'r)  
    1. 建模任務(wù) mjBXa  
     /:yKa=$  
    Pb]s+1  
    2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) J&8l1{gd  
    X5>p~;[9  
    c/T]=S[  
    3. 結(jié)構(gòu)參數(shù) =x/]2+ s  
     %I6iXq#  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： %0:  (''  
     O$$s]R6  
    1. 圓柱的水平間距：250nm r<&d1fM;X  
    2. 圓柱的垂直間距：125nm z${B|  
    3. 列距：125nm 7|,5;  
     H1hj` '\"<  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： '7xmj:.==  
     ,6a'x~y<r  
    1. 圓柱高度(圓柱直徑= ) *<Qn)Az  
    2. 圓柱直徑(柱高來自1中優(yōu)化結(jié)果) '^7Sa  
    3TtnLay.k  
     Fm