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測量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1) JM{S49Lx l`2X'sw[/ 應(yīng)用示例簡述 F|*{Ma W{Cc wq 1. 系統(tǒng)說明 '0|AtO77 &*
4uji 光源 \s2hep — 氦氖激光器(波長632.8nm;相干長度>1m) D4yJ:ATO& 元件 [y
y D- — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測球面透鏡 DBl.bgf 探測器 Xj^6ZJc — 干涉條紋 h<.G^c) 建模/設(shè)計(jì) 40pGu — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 b 2n.v.$G — 幾何場追跡加(GFT+): n4%|F'ma 計(jì)算干涉條紋。 f\"Qgn 分析對齊誤差的影響。 J/j1Yf'9 bz_Zk 2. 系統(tǒng)說明 d"+zDc; B]< 6\Z?= 參考光路 X75>C< 05:`(vl 3. 建模/設(shè)計(jì)結(jié)果 b
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