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    [技術]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-12
    激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) (d\bSo$]  
    \U8Vsx1tl  
    應用案例概述
     }P#gXG  
    ?U[AE -*  
    系統(tǒng)細節(jié) X+ jSB,  
    '-_PO|}  
    光源 [0emOS  
    – 綠光二極管 "a7d`l:  
    元件 ujedvw;sO  
    – 雙軸振鏡掃描儀 e)8iPu ..  
    – F-Theta物鏡 YFY)Z7fK  
    探測器 ml2HA4X&$Y  
    – 場曲和畸變探測器 ^W*/!q7H  
    光束強度剖面探測器 bzS