左圖:角分辨光散射測量儀ALBATROSS;右圖:532 nm濾光片在不同波長下的ARS分布。
o+{i26% 系統(tǒng)簡介 HOH5_E>d
sGNHA(; ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一個大型的測量樣本反射光,透射光,以及散射光分布的實驗室測量系統(tǒng)。其特點是對角度的靈敏度高,并且該系統(tǒng)可以測量三維空間中的散射分布。被測樣本包含光學(xué)和非光學(xué)表面以及其他光學(xué)材料和光學(xué)元件。其光源系統(tǒng)為變頻OPO激光,也可測量光散射的光譜特性。 \8\TTkVSq
(6mw@gzr 特征及技術(shù)參數(shù) m8F
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v^Fu/Y - 可測量參數(shù):散射光(角分辨散射ARS,雙向反射分布BRDF, }QQl.' - 雙向透射分布BTDF,散射損耗),θ-2θ測量,反射,透射。(3D) a;U)#*(5|v - 入射光與探測器可共面或異面。 a_[+id - 入射角,散射角(方位角和極角)以及光源的偏振態(tài)均可調(diào)整。 ;g+fY6 - 可對樣品進行掃描。 !blGc$kC - 動態(tài)范圍: 13個數(shù)量級。 f>cUdEPBb - 最低ARS級別:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 hSAI G - 對粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 G)b:UJa" - 波長范圍:225 nm 至 1750 nm (光譜帶寬<0.05 nm)。 qM 1ZCt - 樣本規(guī)格:最大尺寸直徑700mm。 roG<2i F - 方便操作的測量及分析軟件。 x30|0EHYl[ - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 jgXr2JQ< mRyf+O[ 應(yīng)用 QZ7W:%r(4
+Lc+"0*gV* 對表面,薄膜以及材料性質(zhì)進行表征和分析 %z[=T@ - 產(chǎn)品質(zhì)量檢測。 IIXA)b! - 光學(xué)性能分析。 OtQ]\:p7 - 粗糙度分析。 Er$&}9G+- ouo