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摘要 PJYA5"}W /2cI{]B 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 t(Zs* c(
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Riw7< j 建模任務(wù) /h M>dkwu u#M)i30j  i@CMPz-h& 概述 xs I/DW :]^P ^khK •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 Xe SbA •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 @Y<tH,* z ^/
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