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1. 摘要 c';~bYZ <PSz`)SN 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時(shí)才會出現(xiàn)干涉圖樣。 9(]_so24, mW{;$@PLF" Q+1ot,R 437Wy+Q|e 2. 建模任務(wù) 8sj2@d [<=RsD_q~ _YX% M|# (GRW(Zd4 3. 干涉條紋的變化 `p\%ha!,w FJ84'T\~ E6GubU _-f
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