MCV-500激光多普勒干涉儀簡(jiǎn)介
~yi&wbTjM E)hinH MCV-500激光多普勒干涉儀采用了美國光動(dòng)公司(Optodyne,Inc.)獨(dú)家擁有的激光多普勒測(cè)量?jī)x(LDDM)專利技術(shù),它利用了激光多普勒頻差效應(yīng)的原理,對(duì)線位移進(jìn)行精密測(cè)量,具有測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),它對(duì)數(shù)據(jù)能進(jìn)行自動(dòng)采集,對(duì)溫度壓力進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償,MCV-500配用的是單光束激光頭,它主要應(yīng)用于下列三個(gè)方面:
NACY;XQ% u-9t s 1、廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、測(cè)長(zhǎng)機(jī)等精密機(jī)械的定位精度的檢測(cè)與補(bǔ)償。
+2}(]J=- 2、MCV-500配上LB-500附件后可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床的圓形運(yùn)動(dòng),檢測(cè)數(shù)控機(jī)床伺服系統(tǒng)控制能力的優(yōu)劣,測(cè)定數(shù)控機(jī)床實(shí)際的進(jìn)給速度和加速度。
GnOo+hB 3、MCV-500配上SD-500附件后可對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行分軸步進(jìn)體積測(cè)量,通過測(cè)量數(shù)控機(jī)床四條立體對(duì)角線的行程精度,而測(cè)出機(jī)床的12個(gè)參數(shù),即各軸的行程精度(即位置精度),各軸的水平方向,垂直方向的直線度以及各軸之間相互垂直度。
@L!#i*> 9 1Kh?JH MCV-500激光多普勒干涉儀與其他品牌激光干涉儀相比較具有如下優(yōu)點(diǎn):
Qg>GW \r%Vgne-g 1、激光頭的外形尺寸及重量明顯小于其它品牌激光干涉儀的激光頭,因而在實(shí)際使用中可以不用三腳架,整臺(tái)儀器僅需一只手提箱。
<PN;D#2bh 2、由于工作原理的不同,無需使用分光鏡,因而對(duì)光極其方便。
ptv4v[gQ 3、由于工作原理不同,無需使用反光鏡來代替平行反光鏡(即錐體棱鏡)作為靶標(biāo)來實(shí)現(xiàn)圓形運(yùn)動(dòng)和分軸步進(jìn)體積測(cè)量,而這種測(cè)量是其它激光干涉儀無法實(shí)現(xiàn)的。
'Xl>,\'6 4、檢測(cè)圓形運(yùn)動(dòng)與傳統(tǒng)球棒儀有如下優(yōu)點(diǎn):
'TrrOq4 1)非接觸測(cè)量,測(cè)量半徑可以1mm~150mm。測(cè)量圓越小越能反映機(jī)床伺服系統(tǒng)控制能力的優(yōu)劣。
R$fIb}PDr 2)它無電纜,可以重復(fù)測(cè)量任意多圓。
Gr@{p"./z 3)它實(shí)測(cè)X(t),Y(t),因此可測(cè)量實(shí)際的進(jìn)給速度和加速度。
[T}]Ma*CS W>s'4C` MCV-500激光多普勒干涉儀的主要技術(shù)參數(shù):
G`#gV"PlC 激光穩(wěn)定性: 0.1ppm
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最大移動(dòng)速度: 3.6m/秒
e-cb?.WU? 定位精度: 1.0ppm(1μm/m)
pInWKj[y1 工作環(huán)境溫度: 5~38℃
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