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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-04-29
    鍍膜傾斜光柵通過(guò)VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中（Parameter Run）進(jìn)行分析。 GL'l "L  
    #H.DnW  
    關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運(yùn)行（Parameter Run） s5J?,xu  
    [^0 S#,L  
    所需工具：Grating Toolbox Basic K(}g!iT)~  
    kV:T2}]|H  
    相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 a~&euT2  
    建模任務(wù) !yD$fY  
    `&URd&ouJD  
    理想平面波照射 v4vIcHDs  
    qu%}b>  
     B6.9hf  
    og`K! d~  
    qyL!>kZr@  
    Y(B3M=j  
    鍍膜傾斜光柵          目標(biāo)平面 v@Qfx V2  
    OCEhwB0  
    周期：10um A.cNOous|  
    厚度：10um OE=.@Ry"  
    傾斜角度：20度 sw+vyBV)r  
    #AF.1;(k  
    光柵的參數(shù) )8%m|v#W  
    ~PyZh5x  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) Iad&Z8E  
    —填充因子                           2—后面的介質(zhì)      w\y)  
    —膜層厚度                           3—膜層材料 T&^b~T(y  
    —光柵厚度 WB