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鍍膜傾斜光柵通過(guò)VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中(Parameter Run)進(jìn)行分析。 Q^va+O rF[-4t
% 關(guān)鍵詞:光柵,鍍膜,傾斜光柵,可編程光柵,參數(shù)運(yùn)行(Parameter Run) `EgX# QaLaw-lx 所需工具:Grating Toolbox Basic O9N!SQs80 zf)*W#+ 相關(guān)Tutorials:G.001; G.014 rr,A Vw 建模任務(wù) !D1#3?L #xx.yn(7 理想平面波照射 ~m<K5K6 V G0h&0e{w #@-dT,t r{?qvl!q BYdGK@ouk {.oz^~zs]g 鍍膜傾斜光柵 目標(biāo)平面 JtSwbdN ?`Z:vqp>Z 周期:10um eb}XooX 厚度:10um 0=
bXL!] 傾斜角度:20度 oMAUR
" I-8I/RRkmP 光柵的參數(shù) +cXi|Zf ;yqHt!N —傾斜角度 1—(光柵)前面的介質(zhì) `0%;Gz%} —填充因子 2—后面的介質(zhì) ';\norx; —膜層厚度 3—膜層材料 %x,HQNRDU —光柵厚度 ,Vj& Chl^LEN: Z2*?a|3 h3E}Sa(MQ: j*gZvbO;'L lAG@nh^ 設(shè)置層數(shù)和轉(zhuǎn)折點(diǎn) QsPg4y3?D 416}# Mk #ZP
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