有誰有相關(guān)經(jīng)驗，歡迎大家討論，同鍋鍍膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/藍寶石，測試結(jié)果都OK K;j0
cxl  
設(shè)備試過濺射設(shè)備（新克隆/光馳）/蒸鍍（光馳/新克隆/聯(lián)合真空） p!>DA?vF  
AF克藥試用很多種類，沒有改善效果。 {L/hhKT  
初步分析是摩擦后打底層脫落，打底材料試過P藥/AL203/SIO2。 ~`X$bF  
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI buKSZ  
現(xiàn)懷疑是清洗導(dǎo)致表面附著--硅酸鋰和硅酸鈉（希望大家給些清洗建議），驗證不清洗比清洗后效果要好。 MnTJFo"  
有沒有誰有相關(guān)經(jīng)驗的，歡迎探討! &t:~e" 5<  
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如果是基底問題的話，你蒸鍍前用離子源（AR)使勁轟個十五分鐘。 d.yATP  
這種情況下離子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不會有問題了。 ]w_JbFmT  
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而且離子源轟擊還有個好處，可以增加基板表面的粗糙度。

再加一槽清洗劑去除硅酸

感謝回答！ liMw(F2  
以上方案試過了，附著物估計是微米級別的，離子源沒有辦法清理干凈。

請問一下，使用什么清洗劑？

鍍膜后超洗使用的洗劑PH值很關(guān)鍵，有沒有試過氧化鈦打底。

果是基底問題的話，你蒸鍍前用離子源（AR)使勁轟個十五分鐘。 &*745,e  
這種情況下離子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不會有問題了。 q\-P/aN_  
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