像
光柵這樣的
光學(xué)設(shè)備對(duì)光的偏振比較敏感。 因此,在
仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)際中,光柵有時(shí)會(huì)以非偏振光作為輸入。 作為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明
軟件中的相應(yīng)設(shè)置。
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Ngx2N<$<*g L[44D6Vg 光柵仿真中的非偏振光
ZzK^bNx)0 •光柵分析
$|Ol?s −對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計(jì)算
[BdRx` 例如:作為被研究光柵固有特性的
衍射效率。
fahQ^#&d` 9q0s •非偏振平面波
j+'ua=T3 −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時(shí)間可以處于任何偏振態(tài)。
M
p<r`PM2 −任意偏振態(tài)可以沿兩個(gè)正交基底
投影,并且統(tǒng)計(jì)上,非偏振光沿兩個(gè)正交基底給出相等的投影。
F
]X<q uuL −因此,我們可以使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值,并以非相干方式表示非偏振光。
[3=Y 9P: Ma\%uEgTD
q;R&valn b`%u}^B { 光柵仿真中的
光源設(shè)置
'r=2f6G>cP •手動(dòng)控制光源偏振態(tài)
Wk^{Tn/] −在VirtualLab Fusion中,光始終以矢量形式表示,并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。
{_W8Qm`. −按照基本概念,可以根據(jù)非偏振光的需要,以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如,通過選擇TE和TM偏振作為兩個(gè)正交基,分別執(zhí)行光柵仿真,然后通過功能區(qū)菜單功能手動(dòng)平均結(jié)果。
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