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    [分享]粗糙表面光柵的模擬 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-12-23
    案例87.01:粗糙表面光柵模擬 6?an._ C  
    Ke0j8|  
    即將模擬一個(gè)具有隨機(jī)粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵(General Grating 2D)元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 b}DxD1*nsI  
    yu ~Rk  
    關(guān)鍵詞:光柵,光柵工具箱,粗糙表面,可編程光學(xué)界面,光柵元件 hV,)u3  
    9V5}%4k%+  
    要求工具箱:光柵工具箱 ,,_$r7H`  
    R-Y07A  
    相關(guān)應(yīng)用案例:案例090.01,案例246.01 iYwzdW1  
    Z(F`M;1>xI  
    一、模擬任務(wù) ygiZ~v4P/  
    二、光柵的描述 B}n tD  
    nksx|i l  
    1. 原始表面輪廓是一個(gè)平滑的正弦曲線輪廓,其周期為5μm,調(diào)制深度為468nm(使得最內(nèi)側(cè)三個(gè)級(jí)次的效率相同)。 I_|@Fn[>  
    g"pjWj)?  
    2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個(gè)隨機(jī)的變化,由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 L\1&$|?  
    *&7F(  
    3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個(gè)物理參數(shù):最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和總高度調(diào)制(Total Height Modulation)。使用種子(Seed)變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個(gè)可再生的結(jié)果。 E0 ~\ A;  
    hfUN~89;  
    4. 變量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” mQ# 0c_  
    1ztL._Td  
    下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖,其“總的高度調(diào)制(Total Height Modulation)”為50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為不同的值。 - \ {.]KL  
    QrmiQ]d*p  
    1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為0 v(5zSo  
    :Fe}.* t  
    #9Src\V  
    WX@ a2c.'  
    2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為100nm S6~&g|T,  
    i7N|p9O.  
    *^|.bBG  
    3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為500nm KmUH([#  
    {ek a xSR  
    Y 6B7qp  
    4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為1000nm A.`) 0dV  
    -M{.KqyW  
    AXK6AZjX  
    5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為1500nm y2nwDw(xF  
    a#Yo^"*1  
    Jat|n97$  
    5. 參數(shù)運(yùn)行 'JA<q-Gn  
    {3s=U"\  
    1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一個(gè)在“總的高度調(diào)制(Total Height Modulation)”為50nm時(shí),隨“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”變化的結(jié)果。 t@hE}R  
    ?4G/f<ou  
    2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為1.5um時(shí),將“總的高度調(diào)制(Total Height Modulation)”設(shè)置為變量。下面將給出這些變量的模擬結(jié)果。 x=Ef0v  
    ((Jiv=%  
    6. 具有不同的“總的高度調(diào)制(Total Height Modulation)”的結(jié)果 $F^p5EXkc6  
    ~hx__^]d  
    jv<C#0E^  
    6;JlA})  
    7. 總結(jié) 1?!z<<  
    5Vq&w`sW  
    1) VirtualLabTM可以對粗糙高度輪廓表面的光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 B)^uGS W  
    $G $147z  
    2) 可編程光學(xué)界面可以用來模擬用戶自定義高度輪廓的光柵。 {`X O3  
    ^p@ #  
    3) 大的調(diào)制(在x-和y-方向)會(huì)造成原始衍射結(jié)果強(qiáng)烈的偏差。 D' d^rT| H  
    3W <_J_[  
    eyUhM jd  
    QQ:2987619807 BH@b]bEJ  
     
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