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案例87.01:粗糙表面光柵的模擬 6?an._ C Ke0j8| 即將模擬一個(gè)具有隨機(jī)粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵(General Grating 2D)元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 b}DxD1*nsI yu ~Rk 關(guān)鍵詞:光柵,光柵工具箱,粗糙表面,可編程光學(xué)界面,光柵元件 hV,)u3 9V5}%4k%+ 要求工具箱:光柵工具箱 ,,_$r7H` R-Y07A 相關(guān)應(yīng)用案例:案例090.01,案例246.01 iYwzdW1 Z(F`M;1>xI 一、模擬任務(wù): ygiZ~v4P/ 二、光柵的描述 B}n
tD nksx|i l 1. 原始表面輪廓是一個(gè)平滑的正弦曲線輪廓,其周期為5μm,調(diào)制深度為468nm(使得最內(nèi)側(cè)三個(gè)級(jí)次的效率相同)。 I_|@Fn[> g"pjWj)? 2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個(gè)隨機(jī)的變化,由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 L\1&$|? *&7F( 3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個(gè)物理參數(shù):最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和總高度調(diào)制(Total Height Modulation)。使用種子(Seed)變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個(gè)可再生的結(jié)果。 E0 ~\ A; hfUN~89; 4. 變量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” mQ# 0c_ 1ztL._Td 下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖,其“總的高度調(diào)制(Total Height Modulation)”為50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為不同的值。 -\ {.]KL QrmiQ]d*p 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為0 v(5zSo :Fe}.* t #9Src\V WX@a2c.' 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為100nm S6~&g|T, i7N|p9O. *^|.bBG 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為500nm KmUH([# {ek axSR Y
6B7qp 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為1000nm A.`)
0dV -M{.KqyW AXK6AZjX 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為1500nm y2nwDw(xF a#Yo^"*1 Jat|n97$ 5. 參數(shù)運(yùn)行 'JA<q-Gn {3s=U"\ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一個(gè)在“總的高度調(diào)制(Total Height Modulation)”為50nm時(shí),隨“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”變化的結(jié)果。 t@hE}R ?4G/f<ou 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”為1.5um時(shí),將“總的高度調(diào)制(Total Height Modulation)”設(shè)置為變量。下面將給出這些變量的模擬結(jié)果。 x=Ef0v ((Jiv=% 6. 具有不同的“總的高度調(diào)制(Total Height Modulation)”的結(jié)果 $F^p5EXkc6 ~hx__^]d jv<C#0E^ 6;JlA}) 7. 總結(jié) 1?!z<< 5Vq&w`sW 1) VirtualLabTM可以對粗糙高度輪廓表面的光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 B)^uGSW $G
$147z 2) 可編程光學(xué)界面可以用來模擬用戶自定義高度輪廓的光柵。 {`X O3 ^p@ # 3) 大的調(diào)制(在x-和y-方向)會(huì)造成原始衍射結(jié)果強(qiáng)烈的偏差。 D'
d^rT| H 3W<_J_[ eyUhMjd QQ:2987619807 BH@b]bEJ
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