SEM，EDS，XRD的區(qū)別，SEM是掃描電鏡，EDS是掃描電鏡上配搭的一個(gè)用于微區(qū)分析成分的配件——能譜儀，是用來(lái)對(duì)材料微區(qū)成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。XRD是X射線衍射儀，是用于物相分析的檢測(cè)設(shè)備。 -XXsob}/8  
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SEM用于觀察標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)，其工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品，在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子，次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說(shuō)與樣 品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)，次級(jí)電子由探測(cè)體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào)，再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。 [ne51F5_  
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EDS的原理是各種元素具有自己的X射線特征波長(zhǎng)，特征波長(zhǎng)的大小則取決于能級(jí)躍遷過(guò)程中釋放出的特征能量△E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點(diǎn)來(lái)進(jìn)行成分分析的。 ]fzXrN_  
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XRD是利用衍射原理，精確測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu),織構(gòu)及應(yīng)力,精確的進(jìn)行物相分析，定性分析，定量分析。 %d];h  
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說(shuō)簡(jiǎn)單點(diǎn)，SEM是用來(lái)看微觀形貌的，觀察表面的形態(tài)、斷口、微裂紋等等；EDS則是檢測(cè)元素及其分布，但是H元素不能檢測(cè)；XRD觀察的是組織結(jié)構(gòu)，可以測(cè)各個(gè)相的比例、晶體結(jié)構(gòu)等。