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    [原創(chuàng)]泰伯(TALBOT)光刻機 [復制鏈接]

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    離線infocrops
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-16
    關鍵詞: 光刻機
    作為最著名的衍射效應之一,泰伯(Talbot)效應可以用于光刻技術中以制造周期性納米結(jié)構(gòu)。繼I.-H. Lee等人,我們在六邊形網(wǎng)格上構(gòu)造了一個圓錐形光柵掩膜版,并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。特別是,由于光刻過程中使用的紫外光是非偏振的,因此我們在示例中演示了如何為VirtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。
    附件: 2020-08-24-泰伯(TALBOT)光刻機-訊稷-20200824.rar (1417 K) 下載次數(shù):21
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-11-16
    光刻機?要看看。謝謝。
    離線學本初
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-11-26
    謝謝分享 ^C T}i'