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案例315(3.1) gS4K](KH | E36<Wog 該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化,紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能,如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 dQ/Xs.8 HR['y9U 1. 線柵偏振片的原理 A>R ^iu p
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