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    [推薦]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-16
    成像系統(tǒng)>包括光柵 i_Ol vuy~  
    y<|8OTT  
    任務(wù)/系統(tǒng)說(shuō)明 P-U9FKrt  
    Cj'X L}  
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    亮點(diǎn) .Yg7V'R1  
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    @kBy|5  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） -Ph"#R&  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 ~T">)Y~+xI  
     考慮入射光的方向分布 3e,"B S)+  
    Q!.JV. (  
    說(shuō)明：光源 K-<<s  
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    3'2>3Y/7Bb  
    +@G#Z3;l!  
    說(shuō)明：光束分束器 M 5c$  
    [+;>u|  
    djmd @{Djt  
    &uP,w#  
    說(shuō)明：檢測(cè)透鏡系統(tǒng) W<Ri(g-  
    7fE U5@  
    _O#R,Y2#  
    uidoz f2}  
    說(shuō)明：微型晶片 wjy<{I  
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    說(shuō)明：檢測(cè)物鏡 yd|ao\'=  
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