Zemax光學(xué)設(shè)計從入門到精通	Zemax光學(xué)設(shè)計從基礎(chǔ)到實踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
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[推薦]輪廓掃描干涉測量儀與法布里-珀羅標(biāo)準(zhǔn)具 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-09-24

干涉測量作為最重要的光學(xué)測量技術(shù)之一已在各領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。我們將介紹兩個示例，利用輪廓掃描干涉儀測量表面形貌和利用Fabry-Pérot標(biāo)準(zhǔn)具實現(xiàn)光譜測量。得益于非序列擴展功能，這兩個應(yīng)用所采用的系統(tǒng)在VirtualLab中可以輕松地實現(xiàn)設(shè)置。不僅可以清晰地對其工作原理進行描述及可視化，利用非序列場追跡技術(shù)更能夠快速且精確地對這類系統(tǒng)進行分析。

輪廓掃描干涉測量儀

利用低相干氙燈光源，邁克爾遜干涉儀可以精確掃描給定樣品的表面輪廓。