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    [求助]如何調(diào)節(jié)脈沖偏壓降低或者消除產(chǎn)品冶具起弧 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-07-28
    回復(fù)本帖可獲得1枚光幣獎勵！
    每人最多可獲獎1次，獎池剩余16枚光幣 (中獎幾率100%)
    在鍍絕緣膜層時，產(chǎn)品冶具起弧，燒傷膜層。設(shè)備配置了脈沖偏壓（工藝條件：-40V，頻率50KHZ，脈寬5微秒，反向偏壓10V），希望有了解的 同行指點一下，謝謝。 Gxfw!aF~  
    )l*H$8  
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-07-28
    工藝條件里面是反向偏壓10V，打錯字了
    離線a013109425
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-09-04
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    離線duancm9
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-09-04
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    學(xué)到了
    離線wflney
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-09-04
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    離線ouyuu
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2020-09-08
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    什么機臺，什么配置？蒸鍍機還是濺射機？電子槍還是阻蒸或者是離子鍍？？？
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2021-03-01
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:什么機臺，什么配置？蒸鍍機還是濺射機？電子槍還是阻蒸或者是離子鍍？？？ (2020-09-08 01:14)  fbNVmjb$)  
    oQ8W0`bZa  
    磁控濺射，搭配直流脈沖偏壓電源和HIPIMS高脈沖電源