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測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) VNxhv!w 應(yīng)用示例簡述 /jd.<r=_I 1. 系統(tǒng)說明 7DWHADr 光源 QfI@=Kbg%# — 氙氣燈(部分相干白光) x^6b$>1 組件 kD_616 — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 U#kdcc| 探測器 G"F:68 — 強度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) _F tI2G9 建模/設(shè)計 NFBhnNH+ — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 $5J~4B"%3 — 幾何場追跡Plus(GFT+): !2]'S=Y 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 n_P2l<F~/x 掃描樣品的高度輪廓時光強會發(fā)生變化 &>3AL, GvT ~zNd
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