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芯片開封技術(shù)科普

發(fā)布:探針臺(tái) 2020-04-16 16:48 閱讀:2149
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開封, 即開蓋/開帽 ^)o#/"JA  
開封含義: gDjAnz#  
開封, 即開蓋/開帽, 指去除ic封膠, 同時(shí)保持芯片功能的完整無損, 保持 die, bond pads, bond wires乃至lead-frame不受損傷, 為下一步芯片失效分析實(shí)驗(yàn)做準(zhǔn)備. 9+b){W  
去封范圍:* 普通封裝* COB、BGA * 陶瓷、金屬等其它特殊封裝 E&ReQgBft  
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N[I ?x5:u  
芯片開封機(jī)介紹: NE><(02qW  
美國RKD生產(chǎn)的RKD 酸開封機(jī)是一臺(tái)自動(dòng)混酸開封機(jī),通過整合了***的特點(diǎn)使得它可以獲得更高的產(chǎn)能。新開封機(jī)的設(shè)計(jì)通過將硝酸、***或混酸***分配到器件上,可以更加快速和容易的打開最精細(xì)的封裝,而不會(huì)損傷樣品。 oT!i}TW?o  
RKD Elite Etch 酸開封機(jī)內(nèi)包含了眾多工程創(chuàng)新。整體式刻蝕頭組件是由高等級(jí)的碳化硅加工而成,可以非常***的用來抵抗酸腐蝕。再加上主動(dòng)氮?dú)獗O(jiān)測(cè)和清洗系統(tǒng),這一整體設(shè)計(jì)可以在刻蝕后降低殘留在刻蝕頭上酸的發(fā)煙—而對(duì)于其它沒如此復(fù)雜的設(shè)計(jì)則是一種常見現(xiàn)象。我們這種整體碳化硅選夠縮短加熱時(shí)間。 OGcW]i  
器件壓制組件(壓桿芯頭)是由手動(dòng)***的,設(shè)計(jì)用于大量的運(yùn)動(dòng)。壓桿芯頭正常情況是縮回的,并且僅當(dāng)安全蓋完全關(guān)閉后才伸出。壓桿芯頭的垂直移動(dòng)保證器件穩(wěn)定在刻蝕頭上,從而消除了無論是器件還是夾具的移動(dòng)。 JkEITuTth  
在每次開始和結(jié)束刻蝕程序后,安全蓋由手動(dòng)關(guān)閉和打開。關(guān)閉安全蓋,開始已經(jīng)編制好的刻蝕步驟的程序,打開安全蓋將停止所有刻蝕步驟。所有連接到刻蝕盤的酸管路由快速對(duì)稱壓力節(jié)點(diǎn)制成,以消除麻煩的高溫密封問題。 KP`Pzx   
全能型系統(tǒng)配置 l15Z8hYh j  
掌上型鍵盤 操作簡單不僅僅體現(xiàn)在RKD的軟件設(shè)計(jì)上,即軟件會(huì)持續(xù)檢查和保護(hù)系統(tǒng)防止操作失誤,而且體現(xiàn)在簡單而直觀的手持式鍵盤上。只需要簡單的培訓(xùn),凡是能夠使用手機(jī)的任何人員都可以操作運(yùn)行Elite Etch開封機(jī)。 fRwr}n'  
通風(fēng)櫥的空間永遠(yuǎn)都是非常珍貴的,所以我們已經(jīng)設(shè)計(jì)了行業(yè)中***的占地面積,同時(shí)增強(qiáng)了每一個(gè)可能的安全特性。單獨(dú)的熱交換器的引入可以將廢酸溫度降低到90攝氏度以下,這允許進(jìn)一步減小系統(tǒng)尺寸---我們僅僅使用一個(gè)廢酸瓶。 RS|*3 $1  
預(yù)見未來 軟件消除了廢酸瓶溢流的***,可以防止Elite Etch在廢酸瓶沒有足夠的空間來完成編輯好的刻蝕程序時(shí)停止繼續(xù)操作。 pI1g<pe  
RKD Engineering是***的集成了真正的雙控制用于所有液體在瓶容器和開封機(jī)之間進(jìn)行耦合的公司。內(nèi)部連接是在特氟龍密封的管路內(nèi)運(yùn)行的,它可以由瓶子盒的任何一端來供給。瓶子容器裝置內(nèi)包含了液體傳感器,當(dāng)酸從任何一個(gè)瓶子中***后都會(huì)給操作員發(fā)出警告。Elite Etch開封機(jī)即能夠使用500ml美標(biāo)瓶子,也可以使用日本標(biāo)準(zhǔn)的瓶子。 1*f/Y9 Z  
夾具和附件 !Ld[`d.|R!  
RKD 酸開封機(jī)能夠使用所有由B&G Internationa(現(xiàn)在是Nisene Technology Group)提供的附件包、墊片和對(duì)準(zhǔn)板。然而,為了顯著降低成本,并且永遠(yuǎn)具有設(shè)計(jì)和切割適用于每一個(gè)和每一只器件類型的墊片和對(duì)準(zhǔn)板的能力和優(yōu)勢(shì),我們建議使用 RKD Engineering的μMill. 這臺(tái)Mil的操作非常簡單,不需要機(jī)械工人的***知識(shí),就能夠快速的使用防酸的AFLAS聚合物材料加工完成高質(zhì)量各種墊片。 <r)5jf  
系統(tǒng)安全 ctPT=i60  
對(duì)于操作員來說,在任何開封機(jī)上更換酸瓶都具有一定的風(fēng)險(xiǎn)。我們已經(jīng)設(shè)計(jì)裝配了一個(gè)通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈?zhǔn)沟酶鼡Q瓶子時(shí)沒有任何麻煩。這一通用旋轉(zhuǎn)鉸鏈的詳細(xì)結(jié)構(gòu)顯示如下。另外,瓶子通氣系統(tǒng)可以防止酸氣進(jìn)入瓶子盒內(nèi)。 /A-VT  
芯片開封及系統(tǒng)規(guī)格參數(shù) ;3iWV"&_A  
基本規(guī)格尺寸          (w x d x h)     L/)eNZ  
開封機(jī)                7.5 x 12.5 x 12 inch  190 x 318 x 305 mm               E;YD5^B  
瓶子組件              10 x 5 x 11 inch   254 x 127 x 279 mm dpT?*qLM  
重量                  大約. 35 lbs.(16 Kg) ex.^V sf_  
氣體壓力              55 - 70 psi. (N2) or CDA " eS-i@  
電源                  90 - 250 VAC hbSKlb0d  
酸溫度范圍            20℃- 250℃ +1a2Un  
酸溫度設(shè)定值          1.0℃- 0.1℃ @W=: r/  
刻蝕腔(可高達(dá))        22 x 22 mm -,ojZFyRi  
軟件操作規(guī)格 v <m=g!  
芯片開封機(jī)酸的選擇 +1K= ]#a  
發(fā)煙***/***/混酸 T#KVN{O  
注意: 所有混合比例都是在泵系統(tǒng)內(nèi)部動(dòng)態(tài)準(zhǔn)備的。 ;)vs=DK:)  
混酸比例 (硝酸到***比例):    9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1 M 9 N'Hk=  
刻蝕后沖洗選擇:發(fā)煙***/***/混酸/無沖洗 +E+I.}sOB  
注意: 酸的沖洗溫度設(shè)定是根據(jù)刻蝕溫度自動(dòng)校準(zhǔn)的。 U^Iq]L  
刻蝕時(shí)間: 1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度) vvLzUxV  
注意: 刻蝕時(shí)間能夠在刻蝕期間動(dòng)態(tài)調(diào)整。 >ktekO:H  
刻蝕形式 -               z3M6<.K  
(i) 脈沖刻蝕 !>fi3#Fi  
(ii) 往復(fù)刻蝕 – 酸脈動(dòng) V$ho9gQ!l[  
刻蝕溫度范圍 >}r 1A  
20℃- 90℃ (硝酸) AgWG4C=  
20 - 250℃(***)
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