失效分析漏電定位技術(shù)
EMMI(微光顯微鏡) 對于失效分析而言,微光顯微鏡是一種相當有用,且效率極高的分析工具,主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC原件中,EHP Recombination會放出光子,例如:在PN Junction加偏壓,此時N的電子很容易擴散到P, 而P的空穴也容易擴散至N,然后與P端的空穴做EHP Recombination。 ![]() 偵測到亮點之情況 會產(chǎn)生亮點的缺陷:1.漏電結(jié);2.解除毛刺;3.熱電子效應(yīng);4閂鎖效應(yīng); 5氧化層漏電;6多晶硅須;7襯底損失;8.物理損傷等。 偵測不到亮點之情況 不會出現(xiàn)亮點之故障:1.亮點位置被擋到或遮蔽的情形(埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置);2.歐姆接觸;3.金屬互聯(lián)短路;4.表面 反型層;5.硅導(dǎo)電通路等。 點被遮蔽之情況:埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置,這種情 況可采用Backside模式,但是只能探測近紅外波段的發(fā)光,且需要減薄及 拋光處理。 測試范圍: 故障點定位、尋找近紅外波段發(fā)光點 測試內(nèi)容: 1.P-N接面漏電;P-N接面崩潰 2.飽和區(qū)晶體管的熱電子 3.氧化層漏電流產(chǎn)生的光子激發(fā) 4.Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等問題 北京軟件產(chǎn)品質(zhì)量檢測檢驗中心(簡稱:北軟檢測)成立于2002 年7月,是經(jīng)北京市編辦批準,由北京市科學(xué)技術(shù)委員會和北京市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局聯(lián)合成立的事業(yè)單位。2004年1月,國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局批準在北軟檢測基礎(chǔ)上籌建國家應(yīng)用軟件產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心(簡稱:國軟檢測),2004年10月國軟檢測通過驗收并正式獲得授權(quán),成為我國第一個國家級的軟件產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗機構(gòu)。 中心依據(jù)國際標準 ISO/IEC 17025:2005《檢測和校準實驗室能力認可準則》和ISO 9001:2015《質(zhì)量管理體系要求》建立了嚴謹?shù)馁|(zhì)量體系,擁有一流的軟件測試平臺,2600平方米的測試場地,1000多臺套的測試設(shè)備和上百人的專業(yè)測試工程師隊伍。目前具有資質(zhì)認定計量認證(CMA)、資質(zhì)認定授權(quán)證書(CAL)、實驗室認可證書(CNAS)、檢驗機構(gòu)認可證書(CNAS)、信息安全風(fēng)險評估服務(wù)資質(zhì)認證證書(CCRC),信息安全等級保護測評機構(gòu)(DJCP)、ISO 9001:2015質(zhì)量管理體系認證、ISO/IEC 27001:2013信息安全管理體系認證等各種資質(zhì)。 |