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摘要 wsIW
|@ oX S1QT`B vY }A <acUKfpY 干涉測量法是一項(xiàng)用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 P"y`A}Bx aqRhh=iS 建模任務(wù) e;Ti&o} h|VeG3H 6:Ch^c+IZ #(#Wv?r6 由于組件傾斜引起的干涉條紋 3DiLk=\~ rz wF~-m + 0-HqPdjR 7n8~K3~; 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 4C<jdv_J OGde00 .S(TxksCz &x[E;P*Fg 文件信息 Ox&P}P0f =(NB%} L;VoJf !sDh4jQ` y
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