237) Throttle Valve 節(jié)流閥

節(jié)流閥主要是由一個旋轉(zhuǎn)式閥門及一個用來調(diào)整閥門位置的伺服馬達所構(gòu)成，因此只要輸入適合的電流，伺服馬達便會自動調(diào)節(jié)閥門的位置來改變節(jié)流閥的傳導(dǎo)度，以控制真空系統(tǒng)的整體有效抽氣速率。

238) Throughput   產(chǎn)能

生產(chǎn)能力，如日產(chǎn)能、月產(chǎn)能、年產(chǎn)能。Through Put為單位工時的產(chǎn)出量，例如某機器每小時生產(chǎn)100片，則稱其Through put = l00片/小時。如果每天運作21小時，則每天的Through put為2100片/天。

IC工業(yè)系許多昂貴且精密的設(shè)備投資，故必須充分利用，維持生產(chǎn)的順暢，發(fā)揮其最大的

效能。故高的Through put為我們評估機器設(shè)備的一項很重要的因素之一。除了設(shè)備上發(fā)揮

其最大產(chǎn)能外，必須要配合人為的力量，如流程安排、故障排除、‥‥等，亦即必須"人機

一體"才能發(fā)揮生產(chǎn)的整體效益，達到最高的生產(chǎn)力(Productivity)。

239) Trichloroethane 三氯乙烷

240) Trouble Shooting問題解答

在生產(chǎn)過程，因為4M，即設(shè)備、材料、人為、方法等，造成的一切問題而阻礙生產(chǎn)。例如，機器Down機、制程異�！�等。工程人員解決以上所發(fā)生的問題，使這些"故障"消弭于無形謂之Trouble Shooting。

241) Tungsten 鎢

一種金屬。用以連接上下兩層金屬線的中間層，稱為“鎢插拔”。因為鎢的熔點高，熱膨脹系數(shù)又與硅相當(dāng)，再加上以CVD法所沉積的鎢的內(nèi)應(yīng)力并不高，且具備極佳的階梯覆蓋能力，以CVD法來沉積做為插拔用途的金屬鎢，以成為各VLSI量產(chǎn)廠商的標(biāo)準制程之一。

242) Ultra High Vacuum  超高真空

在超高真空條件下，單分子層容易形成，并能持續(xù)較長時間，這就可以在一個表面尚未被氣體污染前，利用這段充分長的時間來研究其表面特性，如摩擦、黏附和發(fā)射等；另外，外層空間的能量傳輸和超高真空的能量傳輸相似，故超高真空可做空間模擬。

真空度大于10-7Torr ，10-7~10-10 Torr的狀態(tài)。