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聚焦離子束ed Ion beam

發(fā)布：探針臺 2020-02-10 14:48 閱讀：3665
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聚焦離子束顯微鏡FIB pFg9-xd%  
聚焦離子束 pr[[)[]/  
FIB（聚焦離子束，ed Ion beam)是將液態(tài)金屬(大多數(shù)FIB都用Ga)離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后照射于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號取得電子像.此功能與SEM（掃描電子顯微鏡）相似,或用強電流離子束對表面原子進行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工.通常是以物理濺射的方式搭配化學氣體反應(yīng)，有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層。 'N0/;k0ax  
中文名 E0}jEl/{  
聚焦離子束 }cE,&n  
外文名 s!2pOH!u   
FIB、ed Ion Beam <Ep-aRI  
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應(yīng)用范圍： 08S|$_  
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