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半導體術語解釋 (一)

發(fā)布:探針臺 2020-01-09 11:17 閱讀:2824
1) Acetone 丙酮 .A)Un/k7  
丙酮是有機溶劑的一種,分子式為CH3COCH3 x9l0UD*+g  
性質:無色,具剌激性薄荷臭味的液體 NxO^VUD  
用途:在FAB內的用途,主要在于黃光室內正光阻的清洗、擦拭 xc.D!Iav  
毒性:對神經中樞具中度麻醉性,對皮膚粘膜具輕微毒性,長期接觸會引起皮膚炎,吸入過量的丙酮蒸氣會刺激鼻、眼結膜、咽喉粘膜、甚至引起頭痛、惡心、嘔吐、目眩、意識不明等。 ?i2Wst  
允許濃度:1000ppm  ii y3  
2) Active Area 主動區(qū)域 2Fg