摘要：光譜橢偏測量技術(shù)已廣泛應用于材料科學、微電子、物理化學和生物醫(yī)學等領(lǐng)域。在光譜橢偏測量系統(tǒng)中，由于起偏器和檢偏器存在漏光等瑕疵，光源子系統(tǒng)的偏振度和光譜儀子系統(tǒng)的偏振敏感度會影響光譜橢偏系統(tǒng)的測量精度。針對這一問題，本文建立了光譜橢偏測量系統(tǒng)的偏振相關(guān)系數(shù)的修正模型；并提出了一種同時測量光源子系統(tǒng)和光譜儀子系統(tǒng)偏振相關(guān)系數(shù)的方法。利用現(xiàn)有實驗室內(nèi)的寬帶光源系統(tǒng)和寬帶光譜儀驗證了這種測量方法的可行性。 8