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IC失效分析常用方法

發(fā)布:探針臺 2020-01-06 13:42 閱讀:2395
失效分析常用方法 Qe'g3z>  
  1、 C-SAM(超聲波掃描顯微鏡),無損檢查:1.材料內(nèi)部的晶格結(jié)構(gòu),雜質(zhì)顆粒.夾雜物.沉淀物.2. 內(nèi)部裂紋. 3.分層缺陷.4.空洞,氣泡,空隙等. 德國 6