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FIB含義： VF9-&HuC  
聚焦離子束（Focused Ion beam簡寫FIB)是將離子源(大多數(shù)FIB都用Ga，也有設(shè)備具有He和Ne離子源)產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后作用于樣品表面。作用： 3[To"You  
1.產(chǎn)生二次電子信號取得電子像.此功能與SEM（掃描電子顯微鏡）相似 uL@'Hv A  
2.用強電流離子束對表面原子進行剝離,以完成微、納米級表面形貌加工。 }iR!uhi#  
3.通常是以物理濺射的方式搭配化學氣體反應，有選擇性的剝除金屬,氧化硅層或沉積金屬層。 d.NB@[?*  
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FIB應用： Js!Zk\O  
FIB技術(shù)的在芯片設(shè)計及加工過程中的應用介紹： `Y7&}/OM  
1.芯片IC電路修改，切線連線。 `