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芯片制作工藝流程 一

發(fā)布：探針臺 2019-08-16 09:11 閱讀：2326
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芯片制作工藝流程 1= 7ASS9  
工藝流程 T9XUNR{&  
1) 表面清洗 TEh.?  
    晶圓表面附著一層大約2um的Al2O3和甘油混合液保護(hù)之,在制作前必須進(jìn)行化學(xué)刻蝕和表面清洗。 8\^A;5  
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2) 初次氧化 rwVp}H