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SEM掃描電子顯微鏡目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于分析樣品表面形貌，且先進的FE-SEM(場發(fā)射掃描電鏡)可輕易達到30萬倍的放大倍數(shù)。 +cw{aI`a8  
SEM的高能聚焦電子束掃描樣品表面時，被激發(fā)的區(qū)域會產(chǎn)生二次電子。這些二次電子被收集起來轉(zhuǎn)化為電信號，最終以圖像的形式呈現(xiàn)出樣品表面形貌。 7CYH'DL  
配備了EDX的SEM還可以進行元素成份分析，適用于確定材料組成成份、污染物鑒定以及分析樣品表面元素的相對濃度。雙束聚焦離子束系統(tǒng)融合了FIB和SEM，在進行高精度切割的同時又可以進行SEM成像，是一種非常強大的分析工具。

優(yōu)勢	局限
C[W5d~ @;E   - 優(yōu)良的空間分辨率 ;y,NC2Xj   - 可以與FIB和EDX整合在同一個系統(tǒng)中 4Qhx[Hv>(   - 易于操作且分析快速	@d P~X   - 樣品需要適合放入高真空中 Qq>ElQ@   - 導(dǎo)電性弱的樣品容易在樣品表面產(chǎn)生荷電效應(yīng)

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