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EMMI（微光顯微鏡） EMMI（微光顯微鏡） 微光顯微鏡通過測量樣品加偏壓時(shí)所釋放出來的光子來定位故障點(diǎn)。該儀器可以非常靈敏的測出微量光子，并且通過和背景圖片重疊的方法來確定被測樣品漏電的具體位置。微光顯微鏡已經(jīng)成為失效分析定位里最為常見的分析手段。
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EMMI（微光顯微鏡）EMMI（微光顯微鏡） 微光顯微鏡通過測量樣品加偏壓時(shí)所釋放出來的光子來定位故障點(diǎn)。該儀器可以非常靈敏的測出微量光子，并且通過和背景圖片重疊的方法來確定被測樣品漏電的具體位置。微光顯微鏡已經(jīng)成為失效分析定位里最為常見的分析手段。
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