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微光顯微鏡 EMMI原理

發(fā)布：探針臺 2019-07-25 13:35 閱讀：1917
對于故障分析而言，微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會放出光子(Photon)。舉例說明：在P-N結(jié)加偏壓，此時N阱的電子很容易擴散到P阱，而P的空穴也容易擴散至N然后與P端的空穴(或N端的電子)做EHP Recombination av~5l4YL  
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