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    [下載]求助光馳機(jī)離子源結(jié)構(gòu)原理資料 [復(fù)制鏈接]

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    離線qqcheng
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-06-24
    RT求助一份光馳離子源學(xué)習(xí)資料,更全面的了解和學(xué)習(xí)其工作原理以及設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2019-06-24
    離子源機(jī)械結(jié)構(gòu)很簡單,難點(diǎn)在于控制(氣體,電壓,電流,RF匹配)和柵網(wǎng)的加工精度。
    離線qqcheng
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2019-06-24
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:離子源機(jī)械結(jié)構(gòu)很簡單,難點(diǎn)在于控制(氣體,電壓,電流,RF匹配)和柵網(wǎng)的加工精度。 (2019-06-24 13:50)  B-EVo&.  
    `VJJ"v<L  
    您好,首先謝謝你的回復(fù)。您說的這些點(diǎn)難控制其根本參照標(biāo)準(zhǔn)是否在于薄膜吸收大小問題。
    離線ouyuu
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2019-06-24
    這些難點(diǎn)會(huì)影響離子源穩(wěn)定性。 F% <hng%k  
    一個(gè)不穩(wěn)定的離子源是無法做出穩(wěn)定的膜系的
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2019-07-27
    離子源.rar (5267 K) 下载次数:199 w>RBth^p  
    這是資料,你可以看看
    離線jiangxinwu
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2019-08-19
    同求助 哈哈謝謝了
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2023-09-06
    謝謝樓中好心人
    離線李某
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2023-12-17
    感謝大佬 P>*g'OK^!G  
    離線譚健
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2023-12-17
    感謝大佬