芯片失效分析Decap開封類型原理及應(yīng)用
Decap即開封,也稱開蓋,開帽,指給完整封裝的IC做*局部腐蝕,使得IC可以暴露出來,同時保持芯片功能的完整無損, 保持 die, bond pads, bond wires乃至lead-frame不受損傷, 為下一步芯片失效分析實驗做準(zhǔn)備,方便觀察或做其他測試(如FIB,EMMI),Decap后功能正常。 去封范圍:普通封裝 COB、BGA、QFP、 QFN、SOT、TO、 DIP、BGA、COB 陶瓷、金屬等其它特殊封裝。 一般的有化學(xué)(Chemical)開封、機(jī)械(Mechanical)開封、激光(Laser)開封、Plasma Decap Decap實驗室可以處理幾乎所有的IC封裝形式(COB.QFP.DIP SOT 等)、打線類型(Au Cu Ag),免預(yù)約立等可取或當(dāng)天完成并寄出。 芯片開封機(jī)主要有化學(xué)腐蝕和激光開封兩種,區(qū)別是激光開封比較簡單,而且開封銅線邦定的IC比較容易。 酸法塑料封裝器件自動開封機(jī)DECAP SESAME 707/777Cu混合酸開封系統(tǒng) 關(guān)鍵應(yīng)用: 快速的IC蝕刻時間 即使是最易損壞的器件也能容易的開封 設(shè)計緊湊,占地面積小 專為銅線器件的開封設(shè)計(SESAME 777Cu) 產(chǎn)品特點 : 主動壓力監(jiān)測系統(tǒng)(ASM) 非常迅速的加熱時間 液體傳感器警告操作員有酸的泄漏 泵保修6年 蝕刻頭終身保修 SESAME 707/777Cu是一個自動的混合酸開封系統(tǒng),集成了先進(jìn)的特色來提高生產(chǎn)效率。 開封機(jī)可以快速容易的打開任何器件,即便是最易損壞的器件。通過精確的控制硝酸、硫酸混酸,不會造成對器件的損壞。 可以選擇一個獨特的供酸功能,它能夠在少于最大的酸消耗量時提供zui高的脈沖率。 SESAME 707/777Cu可以加熱到zui高250℃,提供任意種類的酸的配比,使得操作更多樣化。 整體刻蝕頭由高級碳化硅加工而成,具有超強(qiáng)的耐酸性。 樣品固定裝置采用氣動裝置激活,并且設(shè)計了無限次往復(fù)運動的能力。 SESAME 707/777Cu是唯yi在酸瓶和開封機(jī)之間包含了對所有的液體連軸器的真正的雙重節(jié)制的開封機(jī)。 在酸瓶容器系統(tǒng)和刻蝕單元上都有流量傳感器,用于警告操作員在機(jī)器內(nèi)部或酸瓶系統(tǒng)出現(xiàn)的任何酸的意外泄漏。 激光開封機(jī)臺(Laser Decap) 常用品牌型號ADVANCED PST-2000 產(chǎn)品特點: 1、對銅制程器件有很好的開封效果,良率高于90%。 2、對環(huán)境及人體污染傷害較小,符合環(huán)保理念。 |