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Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從入門到精通	Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從基礎(chǔ)到實(shí)踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	計(jì)算光學(xué)帶來(lái)的成像革命

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[討論]膜厚儀tooling問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

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離線cugzqq

實(shí)習(xí)生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2018-10-17

關(guān)鍵詞：膜厚儀

請(qǐng)問(wèn)大家，為什么修改tooling膜的厚度也會(huì)變化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？謝謝！

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離線ouyuu

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2018-10-17

TOOLING是個(gè)比例。
因?yàn)槲恢�，角度，遮擋的不同�?span style="display:none"> HF[%/Tu
膜厚儀上得到的膜厚和實(shí)際鍍?cè)谄由系哪ず袷遣灰粯拥摹?

離線morningtech

助理工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2018-10-17

定義上，膜厚儀中材料 Tooling = 樣品上層厚度/晶振片上層厚度
如ouyuu說(shuō)，就是個(gè)比例系數(shù)。
有了這個(gè)參數(shù)，鍍膜時(shí)，膜厚儀上的顯示厚度就等同于是樣品上的厚度。