這容易繞人

膜厚儀直接監(jiān)控的是水晶片的震蕩頻率。 eYD9#y  
水晶膜厚是根據(jù)你設(shè)定的材料參數(shù)算出來的。 ?m9UhLeaS=  
TOOLING只是參數(shù)的一種，用來折算到你實際片子上的膜厚。 \`Ph=lJO  
另外各種材料的密度PID參數(shù)其實也是不同的。 Rqb{)L X*  
如果實在搞不懂把TOOLING設(shè)為1，實際膜厚自己折算就是。

Tooling是鍍膜入門中比較簡單的一個問題，設(shè)成100%是種方法，有其好處。但不很建議這么做，因為這樣會把膜系改的面目全非；換一個膜系時，也要把這個系數(shù)乘進每一層。 u5{5ts+:  
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morningtech:Tooling是鍍膜入門中比較簡單的一個問題，設(shè)成100%是種方法，有其好處。但不很建議這么做，因為這樣會把膜系改的面目全非；換一個膜系時，也要把這個系數(shù)乘進每一層。
(2018-10-20 18:20) S/nj5Lh  

't0+:o">:  
你說的其實是通用性問題。即使是通用性不好的設(shè)備， s.R-<Y3  
設(shè)備如果設(shè)定了各自的TOOLING，膜系也可以設(shè)備間互相拷。 J8u{K.(*7  
否則就需要根據(jù)每臺設(shè)備進行換算，這容易出錯。 qLQ <1>u  
o[bE  
但實際上如果設(shè)備通用性好（比如修正板可以各臺通用） t g KG&  
直接互相拷也沒啥問題的。

cugzqq:問題是：晶振 頻率變化與質(zhì)量增加之間是存在公式，根據(jù)每秒頻率的變化確認厚度的變化， 晶控讀數(shù)不變，頻率變化也是不變化的，更改tooling是改變了膜厚儀什么地方使得實際厚度變了？[表情] (2018-10-17 14:02)  j$3rJA%rN  

v8ba~  
你這個理解不對。 )v[XmJ>H~o  
沒你想那么復(fù)雜，膜厚儀，晶振片如何工作和這個沒什么直接關(guān)系。 :P3{Nxa  
(GCG/8s  
具體為：你鍍制膜層厚度的數(shù)據(jù)來源于你測試點的厚度測試，假設(shè)為A點(晶振片的位置)，而你產(chǎn)品不可能也放在A點，而放在B點。而因為各種原因，A、B兩處同樣時間內(nèi)沉積的數(shù)量是不一致的。而你的目的是讓B處的厚度和你設(shè)計一致，但監(jiān)控的是A處。這樣就出現(xiàn)了一個比例關(guān)系。你無需介意說明書或者是教程上的誰比誰的問題，只要想明白如何通過A監(jiān)控B使得B處和設(shè)計相同就可以了。

自古樓上有真理

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