離子源可以裝門上,也可以裝腔體里。 )y$(AJx$
裝腔體里的話,加上雙電子槍,阻蒸,各個(gè)擋板就太擁擠了。 wmLs/:~
而且如果是ENDHOLL源的話,其磁鐵也會(huì)影響電子槍的偏轉(zhuǎn)。 Dp9+HA9t
一般直徑1.3m以內(nèi)的腔體最好是裝門上。 q/,O\,
=7eV/3
離子源為了照射均勻,中心軸一般會(huì)對(duì)準(zhǔn)鍍膜傘偏外周, O\r0bUPE
一般安裝時(shí)都會(huì)有角度,大型腔體上使用小型離子源時(shí), z
Iu'[U
為了將離子源盡量靠外(使得角度可以調(diào)更大,照射面更大)通常裝在門上。