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"^;'.~@ e8 MEMS簡介
]d_Id]Qa+ MEMS(Micro Electromechanical System，即微電子機械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統(tǒng)。概括起來，MEMS具有以下幾個基本特點，微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產。
v[e$ RH MEMS技術的目標是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領域，幾乎涉及到自然及工程科學的所有領域，如電子技術、機械技術、物理學、化學、生物醫(yī)學、材料科學、能源科學等。其研究內容一般可以歸納為以下三個基本方面：
%((F} 9_6 1．理論基礎：
!\JG]2 \ 在當前MEMS所能達到的尺度下，宏觀世界基本的物理規(guī)律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來的影響（Scaling Effects），許多物理現象與宏觀世界有很大區(qū)別，因此許多原來的理論基礎都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應、微結構的表面效應、微觀摩擦機理等，因此有必要對微動力學、微流體力學、微熱力學、微摩擦學、微光學和微結構學進行深入的研究。這一方面的研究雖然受到重視，但難度較大，往往需要多學科的學者進行基礎研究。
rs~RKTv- 2．技術基礎：
{(o\G"\<XY MEMS的技術基礎可以分為以下幾個方面：（1）設計與仿真技術；（2）材料與加工技術（3）封裝與裝配技術；（4）測量與測試技術；（5）集成與系統(tǒng)技術等。
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