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    [討論]離子源問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線gaofei5588
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-05-21
    離子源的Beam ，ACC，RF和RFN之間有什么聯(lián)系以及它們各自的名稱和作用
     
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    離線mcgraw
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-04-02
    頂一下，同問這個(gè)問題
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-05-11
    頂一下，同問這個(gè)問題
    離線18844167969
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2022-08-29
    離子輔助沉積 #r~# I}U  
    離線ouyuu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2022-08-31
    光弛原理和新柯隆差不多。 ~1AgD-:Jz  
    sfugY (m  
    就新柯隆來講：三片柵網(wǎng)，從下到上為ACC，SUP，GND ` *N[jm"  
    ACC加1000V左右電壓，離子從放電室（石英碗）擠出之后，靠ACC獲得初速度。 |a`Sc %  
    SUP加-300-700V左右電壓，防止電子進(jìn)入放電室。 ?(F6#"/E  
    GND就是接地，并起到保護(hù)SUP電極的作用。（東西掉在柵網(wǎng)上不會(huì)造成短路，打火）