鎳的熔點很低的,最初的射頻源中和器陰極大多數(shù)采用鎳。 /6@iRswa
現(xiàn)在隨著離子源能量的提高,原廠中和器陰極應(yīng)該是用的其他耐高溫金屬。 G:k]tZ*`
不過鎳杯這個名稱被沿襲下來了。 jXu)%<
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你是要防止陰極氧化還是防止陰極蒸發(fā)? ~EJ+<[/
防止氧化的話只有提高氬氣純度,增加鍍膜后的冷卻時間。 7>sNjOt@M
防止陰極蒸發(fā)的話,就必須用原廠陶瓷。 Yfotq9.=+
副廠陶瓷絕緣性不好,電流損耗大,會造成過熱。