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    [轉(zhuǎn)載]不同輪廓亞波長(zhǎng)光柵的成像 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-04-10
    1. 摘要 Y(hW(bd;  
    X/E7o92\  
    亞光波長(zhǎng)光柵在用傍軸光照射時(shí)僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí)，因此在這種情況下不會(huì)形成圖像。 為了克服此問題，可以使用非傍軸照明。在本例中，高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明，衍射場(chǎng)被另一個(gè)高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程，包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長(zhǎng)光柵。 GJIWG&C03  
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    2. ·建模任務(wù) R,x>