用像差逐項優(yōu)化法裝調(diào)離軸三反射鏡光學系統(tǒng) 0g)mf6}o
在對復雜光學系統(tǒng)粗裝調(diào)完成之后,利用自準干涉檢驗的辦法,采集光學系統(tǒng)各視場的干涉圖,然后用干涉條紋分析軟件算出整個系統(tǒng)波前誤差,其量值用澤尼克系數(shù)來表示,通過澤尼克系數(shù)與系統(tǒng)的波像差的關(guān)系,判斷要調(diào)整的目標值,即當前在光學系統(tǒng)中占主導地位的波前誤差,對主導誤差優(yōu)化,得到系統(tǒng)的失調(diào)量,由光學設計軟件確定其正確后,進行一次精密裝調(diào).然后進行多次這樣的計算機迭代和優(yōu)化,直到光學系統(tǒng)達到最好的調(diào)整狀態(tài).運用此方法來裝調(diào)大口徑,長焦距離軸三反射鏡系統(tǒng),在波長λ等于632.8 nm時,該離軸三反射鏡系統(tǒng)中心視場波像差均方根值達到了0.094λ,+1°視場和-1°視場的均方根值分別為0.106λ和0.125λ. [uHI
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偏心孔闌離軸照明EUVL微縮投影物鏡的設計及模擬裝調(diào) b)@x@3"O
針對極紫外投影光刻(Extreme Ultraviolet Lithography,簡稱EUVL)工作波長短的特點及由此帶來的一些問題,對EUVL微縮投影物鏡的結(jié)構(gòu)參數(shù)進行分析選擇,設計了離軸照明方式的Schwarzschild微縮投影成像物鏡.利用基于奇異值分解的牛頓迭代法對敏感矩陣進行分解,求出相應失調(diào)量的大小,以實現(xiàn)系統(tǒng)的精密裝調(diào). /_(Dq8^g@
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離軸照明Schwarzschild投影物鏡的計算機輔助裝調(diào)方法 XITQB|C??$
介紹計算機輔助裝調(diào)方法在離軸照明EUVL光學系統(tǒng)中的應用,闡述了一種基于奇異值分解(SVD)的牛頓迭代法來求解失調(diào)量.利用該方法對敏感矩陣進行分解,從中分析得到影響不同像差的結(jié)構(gòu)參數(shù)的敏感性,并篩選出補償器,求出相應失調(diào)量的大小.在此基礎上進行多次模擬裝調(diào),證明各種情況都是收斂的,可以實現(xiàn)精密裝調(diào)的目的.
