ouyuu:懷疑是排氣能力差異。 PAYbsn  
開鍍真空一樣嗎？都開充氧了嗎？充氧壓力多少？ (2018-02-02 09:16) 
960[.99  

G6l:El&  
開鍍真空一樣，都是2E-3Pa，都開充氧了，目前最主要問題是穩(wěn)定性不好，有些Run次鍍出來是OK的，有些就不好，不知道是哪里造成的穩(wěn)定性差

dcfcwdx:[表情]單層的PEAK對比過，確實是有差異的，關(guān)鍵是怎樣調(diào)節(jié)折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  y}\d]*5  

h?8I`Z)h  
是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ nfj8z@!  
如果是吸收，那就改善充氧。 6h?v/\  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 5.IX  

ouyuu:是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ -#y^$$i0  
如果是吸收，那就改善充氧。 4iPxtVT  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 ExW3LM9(  
 (2018-03-06 13:05)  -*nd5(lY&  

9*ek5vPB  
鍍TiO2單層來比較是，較差的機臺的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？

dcfcwdx:鍍TiO2單層來比較是，較差的機臺的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？ (2018-03-13 20:40)  sR*.i?lN  

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看起來像是折射率問題。 wx*)7Y*  
你這邊用離子源輔助嗎？ %.mHV7c)%  
如果有，就改變一下離子源參數(shù) ecqL;_{o  
如果沒有，就改一下電子槍速率看看。

ouyuu:看起來像是折射率問題。 [bIR$c[G  
你這邊用離子源輔助嗎？ A=a~ [vre  
如果有，就改變一下離子源參數(shù) JAA{5@ST  
如果沒有，就改一下電子槍速率看看。 (2018-03-15 23:35)  InCo[ 8SI  

QZ:xG:qyk;  
既然是折射率差異，那就直接按照兩臺機各自的折射率重新設(shè)計一下膜系不就好了么；如果要變更速率，那折射率不也一樣跟著變了，變量不就多了么。

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機臺不一樣，折射率是有差異的，這個差異在鍍膜厚是就明顯

奔跑的小駿馬:既然是折射率差異，那就直接按照兩臺機各自的折射率重新設(shè)計一下膜系不就好了么；如果要變更速率，那折射率不也一樣跟著變了，變量不就多了么。 (2018-03-23 11:51)  uKBSv*AM  

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