一、行业痛点：传统加工法的桎梏
蓝宝石（α-Al₂O₃）因其超高硬度（莫氏9级）、抗热冲击性和光学透性，被广泛用于激光窗口、红外光学元件等领域。然而，传统加工方法面临两大瓶颈：
效率低下：机械研磨抛光耗时长达数小时/片，且刀具磨损严重（金刚石砂轮损耗率≥30%）；
面型精度限制：传统法易引入亚表面损伤（SSD），导致表面粗糙度Ra>2nm，面型精度PV值难以稳定控制于λ/10@632.8nm以下。
二、非古典法加工原理与技术突破
1. 技术定义
非古典法（Non-conventional Machining）指通过能量束（离子/激光/等离子体）或化学作用，实现原子级材料去除，避免机械应力损伤。
2. 核心技术方案
（1）反应离子束刻蚀（RIBE）
原理：利用Ar+/CF₄混合离子束轰击蓝宝石表面，通过物理溅射+化学反应（生成挥发性AlF₃）同步去除材料。
参数优势：
- 刻蚀速率：0.5-1.2μm/min （较传统法提升3-5倍）
- 面型控制：PV≤λ/20 （RMS
主题：【技术深析】蓝宝石高精密非古典法加工：如何实现亚微米级面型精度与效率突破？
和宸晶体科技发表于 2025-02-04 11:58