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6层膜，GE/ZNS/GE/ZNS/GE/ZNS,膜层在ZNS之后镀GE脱膜，晶圆经过划成小片，边缘出现中间膜层脱膜。想求助一下是什么原因
目前怀疑是ZNS+GE之间膜层结合力不好