rank pneumo公司于1996年已經(jīng)開發(fā)出 nanoform250超精密加工系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有兩軸超精密 cnc機(jī)床，在該機(jī)床上既能進(jìn)行超精密車削，又能進(jìn)行超精密磨削，另外還能進(jìn)行超精密拋光，該機(jī)床最突出的特點(diǎn)是能直接磨削出滿足光學(xué)表面質(zhì)量和面型精度的硬脆材料的光學(xué)零件。該機(jī)床采用了許多 nanoform600、0ptoform50的先進(jìn)設(shè)計(jì)思想，機(jī)床最大加工工件直徑φ250mm，通過一個(gè)升高裝置可使機(jī)床的最大加工工件直徑達(dá)到φ450mm，另外通過控制垂直方向的液體靜壓導(dǎo)軌(y軸)，還能夠磨削非軸對(duì)稱的零件。機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)的分辨率為0．001μm：位置反饋元件是分辨率8．6nm的光柵或分辨率1．25nm的激光干涉儀，加工工件的面型精度優(yōu)于0．2μm／表面粗糙度優(yōu)于 ra0．01μm。

英國 cranfield大學(xué)的精密工程研究所(cope)研制的nanocentre非球面光學(xué)零件的加工機(jī)床 nanocentre250、 nanocentre600，是一種3軸超精密 cnc非球面加工裝置，它是由 cranfield precisionengineering ltd．為滿足單點(diǎn)和延性磨削兩方面的使用要求而設(shè)計(jì)制造的，通過合理化的機(jī)床結(jié)構(gòu)，使用高剛度伺服驅(qū)動(dòng)和液體靜壓軸承使機(jī)床具有較高的閉環(huán)剛度，x和 z軸的分辨率是1．25nm，該機(jī)床被認(rèn)為是符合現(xiàn)代工藝規(guī)范的。加工工件直徑為φ250mm和φ600mm，其面型精度優(yōu)于0．1μm，表面粗糙度優(yōu)于 ra0．01μm， cupe還為美國柯達(dá)公司研究、設(shè)計(jì)和生產(chǎn)當(dāng)今世界上最大的超精密大型 cnc光學(xué)零件磨床“0agm2500”，該機(jī)床主要用于光學(xué)玻璃等硬脆材料的加工，可加工和測(cè)量2．5m×2．5m×0．61m的工件，它能加工出2m見方的非軸對(duì)稱光學(xué)鏡面，鏡面的形狀誤差僅為1μm。

日本豐田工機(jī)研制的 ahn60—3d是一臺(tái)cnc高精度三維截形磨削和車削機(jī)床，它能在 x、 z和b三軸控制下磨削和車削軸向?qū)ΨQ形狀的光學(xué)零件，在 x、 z和 y軸2個(gè)半軸控制下能磨削和車削非軸對(duì)稱的光學(xué)零件，加工工件的截形精度為0．35μm，表面粗糙度 ra0.016μm。

國內(nèi)從80年代 開始了超精密加工技術(shù)的研究，比國外整整落后了20年，現(xiàn)在已有一些單位開展了非球面零件的超精密車削技術(shù)的研究工作。其中長春光機(jī)所前幾年引進(jìn)了 rank pneumo公司的msg一325cnc超精密車床，主要用來車削一些金屬光學(xué)零件，同時(shí)該所還開展了數(shù)控加工光學(xué)玻璃、晶體鍺等材料的非球面加工技術(shù)研究，取得了一定的進(jìn)展。另外國內(nèi)還有一些單位通過精密磨削一超精密研磨和手工拋光也能加工出高精度的非球面光學(xué)零件。因此目前國內(nèi)還沒有一臺(tái)自行研制能達(dá)到超精密級(jí)的cnc非球面磨削加工機(jī)床，所以非球面零件的超精密磨削技術(shù)基本上還是一片空白，不能滿足國防工業(yè)的需要。

2、非球面光學(xué)零件的elid超精密磨削技術(shù)從上面的分析可知，要實(shí)現(xiàn)延性方式磨削，需要高精度、高剛度的機(jī)械裝置，同時(shí)還需要微細(xì)磨粒砂輪的高精密修整和修銳。在微細(xì)磨粒砂輪的研究方面日本學(xué)者宮下等人提出了使用微細(xì)修整的砂輪，在塑性領(lǐng)域磨削量之下進(jìn)行的微細(xì)磨削。在這方面日本學(xué)者中川、大森整等人應(yīng)用 elid技術(shù)，成功地實(shí)現(xiàn)了對(duì)硬脆材科的超精密磨削。