雙模擬器

數(shù)字光刻模擬器由兩個(gè)獨(dú)立的組件組成：一個(gè)光學(xué)模型，用于捕捉光如何投射到器件表面，以及一個(gè)抗蝕劑模型，用于顯示光化學(xué)反應(yīng)如何發(fā)生以在表面上產(chǎn)生特征。

在下游任務(wù)中，他們將這個(gè)學(xué)習(xí)過的光刻模擬器連接到基于物理的模擬器上，該模擬器可以預(yù)測所制造的設(shè)備將如何執(zhí)行該任務(wù)，例如衍射透鏡將如何衍射照射它的光線。

用戶指定他們希望設(shè)備實(shí)現(xiàn)的結(jié)果。然后，這兩個(gè)模擬器在更大的框架內(nèi)協(xié)同工作，向用戶展示如何進(jìn)行設(shè)計(jì)以達(dá)到這些性能目標(biāo)。

Cheng Zheng補(bǔ)充道：“有了我們的模擬器，制造的物體可以在下游任務(wù)中獲得盡可能好的性能，比如計(jì)算相機(jī)，這是一種很有前途的技術(shù)，可以使未來的相機(jī)小型化和更強(qiáng)大。我們表明，即使你使用后校準(zhǔn)來嘗試獲得更好的結(jié)果，它仍然不如我們的光刻模型處于循環(huán)中�！�

他們通過制造一個(gè)全息元件來測試這種技術(shù)，當(dāng)光線照射到該元件上時(shí)，該元件會(huì)產(chǎn)生蝴蝶圖像。與使用其他技術(shù)設(shè)計(jì)的設(shè)備相比，他們的全息元件產(chǎn)生了一個(gè)近乎完美的蝴蝶，與設(shè)計(jì)更接近。他們還制作了一個(gè)多級(jí)衍射透鏡，其圖像質(zhì)量優(yōu)于其他設(shè)備。

未來，研究人員希望改進(jìn)他們的算法，以模擬更復(fù)雜的設(shè)備，并使用消費(fèi)級(jí)相機(jī)測試該系統(tǒng)。此外，他們希望擴(kuò)展他們的方法，使其可以與不同類型的光刻系統(tǒng)一起使用，例如使用深紫外光或極紫外光的系統(tǒng)。

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